VOCs催化燃烧设备过程是在催化燃烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表面而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能，碳氢化合物与氧分子在较低的温度下迅速氧化，产生二氧化碳和水。
VOCs催化燃烧设备借助催化剂的作用可以有效地使废气在较低的温度条件下进行起燃，从而发生无焰燃烧，然后净其氧化分解为无害的二氧化碳和水，并释放出大量的热能，这样可以达到去除废气当中的有害物质的，净化废气。
催化燃烧法的优点：
①可以降低有机废气的起始燃烧温度。例如甲醇、甲醛在以氧化铝为载体的Pt催化剂（Pt/Al2O3）的作用下,室温下_开始燃烧,而直接燃烧法起始燃烧点通常为300～600℃。
②燃烧不受碳氢化合物浓度的限制。
③基本上不会造成二次污染。
VOCs催化燃烧设备工艺说明：
吸附脱附+催化燃烧废气处理设备是采用低温氧化技术，即在贵金属催化剂作用下，将有机气体加热到分解温度使气体净化。在高浓度低风量废气环境下使用效果较好。
产品特点：
VOCs催化燃烧设备通过活性炭吸附，可将大风量低浓度的有机废气浓缩为小风量高浓度的废气，再进入RCO装置处理，可以节约运行成本。
废气进行有效收集后，行预处理，再进入活性炭吸附装置，气体在活性炭床层保持指定的停留时间，气体中的VOCs被吸附在活性炭表面，洁净气体从活性炭床层排出后可以直接通过引风机排空，经过RCO处理后的洁净气体通过热交换到指定温度后作为脱附风，通过活性碳床进行脱附，从活性炭吸附装置脱附出来的浓缩有机物进入RCO装置后通过贵金属催化剂燃烧分解，分解温度在200-250℃，有机废气被分解成二氧化碳和水，以此循环，待废气脱附分解完成后排入烟筒后达标排放。